太阳能级多晶硅技术分为化学法与物理法两大类

太阳能多晶硅技艺分为两类：化学法和物理法。化学多晶硅工艺普遍是指硅在提纯过程中需求转化为硅化合物的中间产物，然后硅化合物经过裂解或氧化恢复反应转化为高纯多晶硅质料。物理进程，又称冶金进程，是在不改动硅的本质条件下，用物理或化学方法从冶金级硅中去除杂质的进程。

固然仍有化学反响触及，但反响目的针对的是硼、磷等杂质，硅并没有改动其化学性质。用物理方法提纯的纯度是有限度的。由于本钱低价，被视为替代高纯多晶硅的后起之秀。化学法可以消费高纯度的多晶硅，但由于许多副产物的控制和处置，技艺难度很大。依据不同的技艺来源，本钱有所不同，普通本钱高于物理工艺。大多数化学方法需求运用冶金级硅(冶金级硅；MG)作为硅化合物的质料，少量直接用二氧化硅制备硅化合物。化学方面，半导体级多晶硅的早期消费者普遍选用西门子工艺，太阳能灯技艺精炼但本钱较高。除西门子法外，还有ASiMi法、流化床反响法和管式堆积法等。先进硅材料公司(ASiMi)开发的ASiMi法是一种以硅烷/ SiH4为质料的高纯多晶硅工艺技艺。2005年，ASiMi宣布退出多晶硅市场，大局部股份被挪威REC(可再生能源公司)收购，所以这项技艺仍由REC消费。流化床反响法是以硅甲烷为质料，同时也是以硅甲烷为质料的方法。该方法反响温度低，可降落功耗近30%。并且由于硅籽晶的反响面积大，反响炉内气流快，可以处理ASiMi法堆积速度慢的问题。流化床反响可以连续消费，这也是流化床反响器优于钟形西门子反响器的缘由。管状堆积法是结合太阳能硅有限公司(JSSI)运用的多晶硅消费技艺。所用的质料和原理与流化床反响法相同，均为硅甲烷和氢气热合成产生的多晶硅。  JSSI声称这种方法的功耗是传统西门子法的1/10，转化率可达95~98%。